射频RF CO2激光器分类

2005/3/11/11:32RFCO2激光器工作频率按ISM规定为27～40MHz；其主要分类如下所述：

    （1）按输出方式分

    1）连续输出；
    2）脉冲输出——调制频率高达1MHz；
    3）Q开关输出——电光调Q与声光调Q。

    （2）按谐振腔的工作分

    1）波导腔——孔径D=1～3mm；
    2）自由空间腔——孔径D=4～6mm。

    （3）按激励极性分

    1）单相；
    2）反相。

    （4）按腔体结构分

    1）单腔；

    2）多腔；

    （a）折叠腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。
    （b）列阵腔：短肩列阵；交错列阵。
    （c）积木式：并联—2腔；三角组联—3腔。

    3）大面积放电

    （a）平板型，（b）同心环型。

    （5）按均恒电感分布方式分

    1）准电感谐振技术—用于低电容激光头；
    2）平行分布电感谐振技术—用于高电容激光头。

    （6）按谐振腔材料分

    1）陶瓷—金属混合型；2）全陶瓷型；3）全金属型。

    （7）按冷却方式分

    1）空气冷却；2）水冷却。

    （8）按封装方式分

    1）封离型；2）流动型。

    谐振腔的材料一般为：金属—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。